文献
J-GLOBAL ID:201102277553677795
整理番号:11A1190465
熱酸化により作製したSiナノドット素子及びその応用
Si Nanodot Device Fabricated by Thermal Oxidation and Their Applications
著者 (9件):
TAKAHASHI Yasuo
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
JO Mingyu
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
KAIZAWA Takuya
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
KATO Yuki
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
ARITA Masashi
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
FUJIWARA Akira
(NTT Corp., Atsugi, JPN)
,
ONO Yukinori
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
INOKAWA Hiroshi
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
CHOI Jung-Bum
(Chungbuk National Univ., Chungbuk, KOR)
資料名:
Key Engineering Materials
(Key Engineering Materials)
巻:
470
ページ:
175-183
発行年:
2011年
JST資料番号:
D0744C
ISSN:
1013-9826
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
スイス (CHE)
言語:
英語 (EN)