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資料名：
巻： 58 号： 3 ページ： 748-757 発行年： 2011年03月
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201102284216166106
整理番号：11A0656314
光電子へテロ構造集積システムのためのCMOS,MEMS,および,フォトニクス回路の三次元ハイブリッド集積技術
Three-Dimensional Hybrid Integration Technology of CMOS, MEMS, and Photonics Circuits for Optoelectronic Heterogeneous Integrated Systems
LEE Kang-Wook
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
NORIKI Akihiro
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
KIYOYAMA Kouji
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
KIYOYAMA Kouji
(Nagasaki Inst. Applied Sci., Nagasaki, JPN)
,
FUKUSHIMA Takafumi
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
TANAKA Tetsu
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
KOYANAGI Mitsumasa
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名：
IEEE Transactions on Electron Devices
(IEEE Transactions on Electron Devices)
巻： 58 号： 3 ページ： 748-757 発行年： 2011年03月
JST資料番号： C0222A ISSN： 0018-9383 CODEN： IETDAI 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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