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資料名：
巻： 20 号： 1 ページ： 83-94 発行年： 2011年02月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201102285510842965
整理番号：11A0565966
非対称型ギャップ付きの片持梁を基礎にした微細加工ピエゾ抵抗式加速度計
Micromachined Piezoresistive Accelerometers Based on an Asymmetrically Gapped Cantilever
LI Yuefa
(Wayne State Univ., MI, USA)
,
ZHENG Qinglong
(Wayne State Univ., MI, USA)
,
HU Yating
(Wayne State Univ., MI, USA)
,
XU Yong
(Wayne State Univ., MI, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 20 号： 1 ページ： 83-94 発行年： 2011年02月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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