文献
J-GLOBAL ID:201202238423074594
整理番号:12A0582078
オゾン分子線エピタキシで作ったデバイス-品質β-Ga2O3エピタクシー膜
Device-Quality β-Ga2O3 Epitaxial Films Fabricated by Ozone Molecular Beam Epitaxy
著者 (6件):
SASAKI Kohei
(Tamura Co., Ltd., Saitama, JPN)
,
KURAMATA Akito
(Tamura Co., Ltd., Saitama, JPN)
,
MASUI Takekazu
(Koha Co., Ltd., Tokyo, JPN)
,
VILLORA Encarnacion G.
(National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN)
,
SHIMAMURA Kiyoshi
(National Inst. Materials Sci., Ibaraki, JPN)
,
YAMAKOSHI Shigenobu
(Tamura Co., Ltd., Saitama, JPN)
資料名:
Applied Physics Express
(Applied Physics Express)
巻:
5
号:
3
ページ:
035502.1-035502.3
発行年:
2012年03月25日
JST資料番号:
F0599C
ISSN:
1882-0778
CODEN:
APEPC4
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)