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著者 (15件)：
資料名：
巻： 187 ページ： 123-126 発行年： 2012年
JST資料番号： T0583A ISSN： 1012-0394 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201202241934127689
整理番号：12A1754312
物理的洗浄ウィンドウに対する構造の界面強度および寸法の影響
Effects of Interfacial Strength and Dimension of Structures on Physical Cleaning Window
KIM Tae-Gon
(Imec vzm, Leuven, BEL)
,
KIM Tae-Gon
(Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
,
PACCO Antoine
(Imec vzm, Leuven, BEL)
,
WOSTYN Kurt
(Imec vzm, Leuven, BEL)
,
BREMS Steven
(Imec vzm, Leuven, BEL)
,
XU XiuMei
(Imec vzm, Leuven, BEL)
,
STRUYF Herbert
(Imec vzm, Leuven, BEL)
,
ARSTILA Kai
(Imec vzm, Leuven, BEL)
,
VANDEVELDE B.
(Imec vzm, Leuven, BEL)
,
PARK Jin-Goo
(Hanyang Univ., Ansan, KOR)
,
DE GENDT Stefan
(Imec vzm, Leuven, BEL)
,
DE GENDT Stefan
(Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
,
MERTENS Paul W.
(Imec vzm, Leuven, BEL)
,
HEYNS Marc
(Imec vzm, Leuven, BEL)
,
HEYNS Marc
(Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, BEL)
資料名：
Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena
(Diffusion and Defect Data Part B. Solid State Phenomena)
巻： 187 ページ： 123-126 発行年： 2012年
JST資料番号： T0583A ISSN： 1012-0394 資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE) 言語： 英語 (EN)
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