文献
J-GLOBAL ID:201202281618977010
整理番号:12A0590199
フレキシブルなプラスチック基板上でのSi薄膜についての青色マルチレーザダイオードアニーリングによる結晶化
Crystallization of Si Thin Film on Flexible Plastic Substrate by Blue Multi-Laser Diode Annealing
著者 (9件):
OKADA Tatsuya
(Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN)
,
MUGIRANEZA Jean de Dieu
(Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN)
,
SHIRAI Katsuya
(Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN)
,
SUZUKI Toshiharu
(Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN)
,
NOGUCHI Takashi
(Univ. Ryukyus, Okinawa, JPN)
,
MATSUSHIMA Hideki
(Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
,
HASHIMOTO Takao
(Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
,
OGINO Yoshiaki
(Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
,
SAHOTA Eiji
(Hitachi Computer Peripherals Co., Ltd., Kanagawa, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
51
号:
3,Issue 2
ページ:
03CA02.1-03CA02.3
発行年:
2012年03月25日
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)