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著者 (5件)：
資料名：
巻： 30 号： 6 ページ： 061604-061604-6 発行年： 2012年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201202284873378609
整理番号：12A1712028
気体流スパッタリング時の基板上のFe立方体粒子の成長
Growth of Fe cubical particles on substrates during gas flow sputtering
SAKUMA Hiroshi
(Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Utsunomiya Univ., 7-1-2 Yoto, Utsunomiya 321-8585, JPN)
,
SAKAMOTO Shinichi
(Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Utsunomiya Univ., 7-1-2 Yoto, Utsunomiya 321-8585, JPN)
,
NAOI Akimasa
(Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Utsunomiya Univ., 7-1-2 Yoto, Utsunomiya 321-8585, JPN)
,
SAITO Yusuke
(Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Utsunomiya Univ., 7-1-2 Yoto, Utsunomiya 321-8585, JPN)
,
ISHII Kiyoshi
(Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Utsunomiya Univ., 7-1-2 Yoto, Utsunomiya 321-8585, JPN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 30 号： 6 ページ： 061604-061604-6 発行年： 2012年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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