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J-GLOBAL ID：201202285132149374 整理番号：12A1711859

金属ガラスを用いたナノインプリントのための2Tドット/インチ²のナノドットアレイ型の作製

Fabrication of nanodot array mold with 2 Tdot/in.² for nanoimprint using metallic glass

著者 (7件)：

FUKUDA Yasuyuki

(BMG Co., Ltd., Sendai 983-0036, Japan and Dep. of Materials Processing, Graduate School of Engineering, Tohoku Univ. ...)

SAOTOME Yasunori

(Kansai Center, Inst. for Materials Res., Tohoku Univ., Himeji, Hyogo 671-2280, JPN)

NISHIYAMA Nobuyuki

(RIMCOF Tohoku Univ. Lab., The Materials Process Technol. Center, Sendai 980-8577, JPN)

TAKENAKA Kana

(RIMCOF Tohoku Univ. Lab., The Materials Process Technol. Center, Sendai 980-8577, JPN)

SAIDOH Noriko

(RIMCOF Tohoku Univ. Lab., The Materials Process Technol. Center, Sendai 980-8577, JPN)

MAKABE Eiichi

(BMG Co., Ltd., Sendai 983-0036, JPN)

INOUE Akihisa

(Tohoku Univ., Sendai 980-8577, JPN)

資料名：

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)

巻： 30 号： 6 ページ： 061602-061602-7 発行年： 2012年11月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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金属ガラスを用いたナノインプリントのための2Tドット/インチ2のナノドットアレイ型の作製

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