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文献
J-GLOBAL ID:201302204685346035   整理番号:13A1926752

導電性ポリマー・金属複合材料の分散溶液を用いたTSVの高速充填

Fast Infilling of TSV with Dispersion of Conductive Polymer/Metal Composite
著者 (3件):
川喜多仁
(物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点)
HORVATH Barbara
(物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点)
知京豊裕
(物質・材料研究機構 国際ナノアーキテクトニクス研究拠点)

資料名:
表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)

巻: 64  号: 12  ページ: 685-686  発行年: 2013年12月01日 
JST資料番号: G0441B  ISSN: 0915-1869  CODEN: HYGIEX  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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