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資料名：
巻： 113 号： 87(SDM2013 44-64) ページ： 91-96 発行年： 2013年06月11日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：201302213724044520
整理番号：13A1222900
SiC酸化メカニズム解明への試み-Si酸化との共通点/異なる点-
An attempt for clarification of SiC oxidation mechanism-Common/different point to Si oxidation-
土方泰斗
(埼玉大 大学院理工学研究科)
,
八木修平
(埼玉大 大学院理工学研究科)
,
矢口裕之
(埼玉大 大学院理工学研究科)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 113 号： 87(SDM2013 44-64) ページ： 91-96 発行年： 2013年06月11日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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