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著者 (5件)：
資料名：
巻： 307 ページ： 399-403 発行年： 2013年
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201302221755873170
整理番号：13A1738986
IBIECとSPEGによるSiGe/Siの再成長特性
Regrowth characteristics of SiGe/Si by IBIEC and SPEG
AWANE K.
(Hosei Univ., Tokyo, JPN)
,
KOKUBO Y.
(Hosei Univ., Tokyo, JPN)
,
YOMOGIDA M.
(Hosei Univ., Tokyo, JPN)
,
YAMAMOTO Y.
(Hosei Univ., Tokyo, JPN)
,
NISHIMURA T.
(Hosei Univ., Tokyo, JPN)
資料名：
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 307 ページ： 399-403 発行年： 2013年
JST資料番号： H0899A ISSN： 0168-583X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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