文献
J-GLOBAL ID:201302247378233356
整理番号:13A1839027
高感度化学構造特性評価のための高エネルギークラスタイオン衝突イオン化を用いる飛行時間二次イオン質量分析法
Time-of-flight secondary ion mass spectrometry with energetic cluster ion impact ionization for highly sensitive chemical structure characterization
著者 (5件):
HIRATA K.
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), Ibaraki, JPN)
,
SAITOH Y.
(Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Gumma, JPN)
,
CHIBA A.
(Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Gumma, JPN)
,
YAMADA K.
(Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Gumma, JPN)
,
NARUMI K.
(Japan Atomic Energy Agency (JAEA), Gumma, JPN)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
314
ページ:
39-42
発行年:
2013年
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)