文献
J-GLOBAL ID:201302261607704034
整理番号:13A0098889
高Arガス圧下のスパッタリングプロセスにおける不純物ガス分析
Impurity gas analysis in the sputtering process under high Ar gas pressure
著者 (4件):
SASAKI Shingo
(Ichinoseki Nat’l Coll. Technol., Ichinoseki, JPN)
,
ISHIBASHI Shinichi
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
SAITO Shin
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
,
TAKAHASHI Migaku
(Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名:
日本磁気学会学術講演概要集
(Abstracts. Annual Conference on Magnetics in Japan)
巻:
36th
ページ:
113
発行年:
2012年
JST資料番号:
Y0056A
ISSN:
1882-2959
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)