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資料名：
巻： 52 号： 3,Issue 1 ページ： 035201.1-035201.4 発行年： 2013年03月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201302292718941674
整理番号：13A0680683
シートナノインプリント法による長さ15mの重合体シート上への200nmのドット・パターンの製作
Fabrication of 200-nm Dot Pattern on 15-m-Long Polymer Sheet Using Sheet Nanoimprint Method
OGINO Masahiko
(Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN)
,
HASEGAWA Mitsuru
(Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN)
,
SAKAUE Keiji
(Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd., Niigata, JPN)
,
NAGAI Shuuichi
(Hitachi Industrial Equipment Systems Co., Ltd., Niigata, JPN)
,
MIYAUCHI Akihiro
(Hitachi, Ltd., Ibaraki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 52 号： 3,Issue 1 ページ： 035201.1-035201.4 発行年： 2013年03月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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