文献
J-GLOBAL ID:201302294274316169
整理番号:13A0026869
MEMS印刷に応用するエピタキシャルPZT膜
Epitaxial PZT films for MEMS printing applications
著者 (6件):
FUNAKUBO Hiroshi
(Tokyo Inst. Technol.)
,
DEKKERS Matthijn
(SolMateS, NLD)
,
SAMBRI Alessia
(Univ. Naples Federico II, ITA)
,
GARIGLIO Stefano
(Univ. Geneva)
,
SHKLYAREVSKIY Igor
(Oce-Technol. B.V., NLD)
,
RIJNDERS Guus
(Univ. Twente, NLD)
資料名:
MRS Bulletin
(MRS Bulletin)
巻:
37
号:
11
ページ:
1030-1038
発行年:
2012年11月
JST資料番号:
W1595A
ISSN:
0883-7694
CODEN:
MRSBEA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
文献レビュー
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)