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文献
J-GLOBAL ID:201402202181146897   整理番号:14A0716143

二段階ソフトリソグラフィーを用いる高機械的安定性を有するナノ/マイクロフルイディクス装置の迅速製造法

Rapid fabrication technique of nano/microfluidic device with high mechanical stability utilizing two-step soft lithography
著者 (4件):
MOGI Katsuo
(Mechanical and Control Engineering, Tokyo Inst. of Technol., JPN)
SUGII Yasuhiko
(School of Engineering, The Univ. of Tokyo, JPN)
YAMAMOTO Takatoki
(Mechanical and Control Engineering, Tokyo Inst. of Technol., JPN)
FUJII Teruo
(Inst. of Industrial Sci., The Univ. of Tokyo, JPN)

資料名:
Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)

巻: 201  ページ: 407-412  発行年: 2014年10月01日 
JST資料番号: T0967A  ISSN: 0925-4005  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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