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資料名：
巻： 52 号： 12 ページ： 126503.1-126503.6 発行年： 2013年12月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201402206846090591
整理番号：14A0114209
研磨パッドとウエハとの接触面積のFeret直径ベースの新しい研磨メカニズムの提案
Proposal of New Polishing Mechanism Based on Feret’s Diameter of Contact Area between Polishing Pad and Wafer
ISOBE Akira
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
AKAJI Masatoshi
(Nitta Haas Inc., Kyoto, JPN)
,
KUROKAWA Shuhei
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 52 号： 12 ページ： 126503.1-126503.6 発行年： 2013年12月25日
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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