文献
J-GLOBAL ID:201402207189332640
整理番号:14A0058375
単結晶SiC高能率複合研磨法の開発
著者 (10件):
栗田恒雄
(技術研究組合 次世代パワーエレクトロニクス研究開発機構)
,
三宅晃司
(技術研究組合 次世代パワーエレクトロニクス研究開発機構)
,
河田研治
(技術研究組合 次世代パワーエレクトロニクス研究開発機構)
,
芦田極
(技術研究組合 次世代パワーエレクトロニクス研究開発機構)
,
加藤智久
(技術研究組合 次世代パワーエレクトロニクス研究開発機構)
,
栗田恒雄
(産業技術総合研)
,
三宅晃司
(産業技術総合研)
,
河田研治
(産業技術総合研)
,
芦田極
(産業技術総合研)
,
加藤智久
(産業技術総合研)
資料名:
砥粒加工学会誌
(Abrasive Technology)
巻:
58
号:
1
ページ:
30-35
発行年:
2014年01月01日
JST資料番号:
L0473A
ISSN:
0914-2703
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)