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文献
J-GLOBAL ID:201402208165091088   整理番号:14A1213580

生物学的応用のための厚いSOI LSIデバイスについての微小流体チャネル集積化

Micro-Fluidic Channel Integration on Thick-SOI LSI Device for Biological Application.
著者 (7件):
TIXIER-MITA Agnes
(Res. Center for Advanced Sci. and Technol., The Univ. of Tokyo)
MORI Isao
(Dep. of Electrical and Electronics Engineering, The Univ. of Tokyo)
TAKAHASHI Takuya
(Res. Center for Advanced Sci. and Technol., The Univ. of Tokyo)
FRANCAIS Olivier
(SATIE/IFR d’Alembert, Ecole Normale Superieure de Cachan)
PIOUFLE Bruno Le
(SATIE/IFR d’Alembert, Ecole Normale Superieure de Cachan)
MITA Yoshio
(Dep. of Electrical and Electronics Engineering, The Univ. of Tokyo)
TOSHIYOSHI Hiroshi
(Res. Center for Advanced Sci. and Technol., The Univ. of Tokyo)

資料名:
電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)

巻: 134  号: 10  ページ: 320-325 (J-STAGE)  発行年: 2014年 
JST資料番号: L3098A  ISSN: 1341-8939  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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