文献
J-GLOBAL ID:201402210263284484
整理番号:14A0657045
非晶質Si3N4膜におけるイオン軌跡形成に対する表面効果
Surface effect on ion track formation in amorphous Si3N4 films
著者 (10件):
MORITA Y.
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
NAKAJIMA K.
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
SUZUKI M.
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
NARUMI K.
(Japan Atomic Energy Agency, Gumma, JPN)
,
SAITOH Y.
(Japan Atomic Energy Agency, Gumma, JPN)
,
ISHIKAWA N.
(Japan Atomic Energy Agency, Ibaraki, JPN)
,
HOJOU K.
(Japan Atomic Energy Agency, Ibaraki, JPN)
,
TSUJIMOTO M.
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
ISODA S.
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
,
KIMURA K.
(Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名:
Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms
(Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻:
315
ページ:
142-145
発行年:
2013年11月15日
JST資料番号:
H0899A
ISSN:
0168-583X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)