文献
J-GLOBAL ID:201402210459108749
整理番号:14A1136307
多重回折次数の格子の周期測定での精度の改善
Improving accuracy in period measurement of gratings with multiple diffraction orders
著者 (2件):
ICHIKAWA Hiroyuki
(Ehime Univ., Matsuyama, JPN)
,
TODA Tomohiro
(Ehime Univ., Matsuyama, JPN)
資料名:
Applied Optics
(Applied Optics)
巻:
53
号:
24
ページ:
5290-5293
発行年:
2014年08月20日
JST資料番号:
B0026B
ISSN:
1559-128X
CODEN:
APOPAI
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)