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著者 (8件)：
資料名：
巻： 26 号： 6 ページ： 403-415 発行年： 2014年
JST資料番号： L0338A ISSN： 0914-4935 CODEN： SENMER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201402230648606220
整理番号：14A1031498
革新的概念に基づく処理困難な結晶の新しい化学機械研磨/プラズマ化学的気化加工法複合加工法(CMP/P-CVM)
Novel Chemical Mechanical Polishing/Plasma-Chemical Vaporization Machining (CMP/P-CVM) Combined Processing of Hard-to-Process Crystals Based on Innovative Concepts
DOI Toshiro K.
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
SANO Yasuhisa
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
,
KUROWAKA Syuhei
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
AIDA Hideo
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
,
AIDA Hideo
(Namiki Precision Jewel Co., Ltd., Tokyo, JPN)
,
OHNISHI Osamu
(Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)
,
UNEDA Michio
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
,
OHYAMA Koki
(Namiki Precision Jewel Co., Ltd., Tokyo, JPN)
資料名：
Sensors and Materials
(Sensors and Materials)
巻： 26 号： 6 ページ： 403-415 発行年： 2014年
JST資料番号： L0338A ISSN： 0914-4935 CODEN： SENMER 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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