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文献
J-GLOBAL ID:201402230648606220   整理番号:14A1031498

革新的概念に基づく処理困難な結晶の新しい化学機械研磨/プラズマ化学的気化加工法複合加工法(CMP/P-CVM)

Novel Chemical Mechanical Polishing/Plasma-Chemical Vaporization Machining (CMP/P-CVM) Combined Processing of Hard-to-Process Crystals Based on Innovative Concepts
著者 (8件):
DOI Toshiro K.
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
SANO Yasuhisa
(Osaka Univ., Osaka, JPN)
KUROWAKA Syuhei
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
AIDA Hideo
(Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
AIDA Hideo
(Namiki Precision Jewel Co., Ltd., Tokyo, JPN)
OHNISHI Osamu
(Miyazaki Univ., Miyazaki, JPN)
UNEDA Michio
(Kanazawa Inst. Technol., Ishikawa, JPN)
OHYAMA Koki
(Namiki Precision Jewel Co., Ltd., Tokyo, JPN)

資料名:
Sensors and Materials  (Sensors and Materials)

巻: 26  号:ページ: 403-415  発行年: 2014年 
JST資料番号: L0338A  ISSN: 0914-4935  CODEN: SENMER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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