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資料名：
巻： 8 号： 3 ページ： 406-419 発行年： 2014年05月05日
JST資料番号： L0997B ISSN： 1881-7629 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201402236804154006
整理番号：14A0806274
MEMS製作のための特徴ベースの三次元プロセス計画
Feature-Based 3D Process Planning for MEMS Fabrication
KANAI Satoshi
(Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
,
SHIBATA Takayuki
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
KAWASHIMA Takahiro
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
資料名：
International Journal of Automation Technology
(International Journal of Automation Technology)
巻： 8 号： 3 ページ： 406-419 発行年： 2014年05月05日
JST資料番号： L0997B ISSN： 1881-7629 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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