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文献
J-GLOBAL ID:201402247239601097   整理番号:14A0422244

金属ナノ粒子を触媒としてシリコン上に形成した無電解めっき膜のコンタクト抵抗

著者 (9件):
折田由紀子
(ムラタ)
厚芝博之
(兵庫県大 大学院)
榎本将人
(兵庫県大 大学院)
阪本進
(兵庫県大 大学院)
阪本進
(日本オイコス)
高上豪倫
(ムラタ)
福室直樹
(兵庫県大 大学院)
八重真治
(兵庫県大 大学院)
松田均
(兵庫県大 大学院)

資料名:
表面技術協会講演大会講演要旨集

巻: 129th  ページ: 95  発行年: 2014年03月03日 
JST資料番号: Y0050A  ISSN: 0917-2947  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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