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J-GLOBAL ID:201402262110918018   整理番号:14A1378559

新規のSn前駆体を用いて原子層堆積により成長させたSnO2薄膜

SnO2 thin films grown by atomic layer deposition using a novel Sn precursor
著者 (21件):
CHOI Min-jung
(Electronic Materials Res. Center, Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, 136-791, KOR)
CHOI Min-jung
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, Yonsei Univ., Seoul, 120-749, KOR)
CHO Cheol Jin
(Electronic Materials Res. Center, Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, 136-791, KOR)
CHO Cheol Jin
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, Seoul National Univ., Seoul, 151-744, KOR)
KIM Kwang-chon
(Electronic Materials Res. Center, Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, 136-791, KOR)
PYEON Jung Joon
(Electronic Materials Res. Center, Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, 136-791, KOR)
PARK Hyung-ho
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, Yonsei Univ., Seoul, 120-749, KOR)
KIM Hyo-suk
(Div. of Advanced Materials, Korea Res. Inst. of Chemical Technol. (KRICT), Daejeon, 305-600, KOR)
HAN Jeong Hwan
(Div. of Advanced Materials, Korea Res. Inst. of Chemical Technol. (KRICT), Daejeon, 305-600, KOR)
KIM Chang Gyoun
(Div. of Advanced Materials, Korea Res. Inst. of Chemical Technol. (KRICT), Daejeon, 305-600, KOR)
CHUNG Taek-mo
(Div. of Advanced Materials, Korea Res. Inst. of Chemical Technol. (KRICT), Daejeon, 305-600, KOR)
PARK Tae Joo
(Dep. of Materials Sci. & Engineering, Hanyang Univ., Ansan, 426-791, KOR)
KWON Beomjin
(Electronic Materials Res. Center, Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, 136-791, KOR)
JEONG Doo Seok
(Electronic Materials Res. Center, Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, 136-791, KOR)
JEONG Doo Seok
(Dep. of Nanomaterials, Korea Univ. of Sci. and Technol., Daejeon, 305-333, KOR)
BAEK Seung-hyub
(Electronic Materials Res. Center, Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, 136-791, KOR)
BAEK Seung-hyub
(Dep. of Nanomaterials, Korea Univ. of Sci. and Technol., Daejeon, 305-333, KOR)
KANG Chong-yun
(Electronic Materials Res. Center, Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, 136-791, KOR)
KIM Jin-sang
(Electronic Materials Res. Center, Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, 136-791, KOR)
KIM Seong Keun
(Electronic Materials Res. Center, Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul, 136-791, KOR)
KIM Seong Keun
(Dep. of Nanomaterials, Korea Univ. of Sci. and Technol., Daejeon, 305-333, KOR)

資料名:
Applied Surface Science  (Applied Surface Science)

巻: 320  ページ: 188-194  発行年: 2014年11月30日 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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