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J-GLOBAL ID:201402279582171099   整理番号:14A0443723

5MeV C60+イオンを用いた透過二次イオン質量分析

Transmission secondary ion mass spectrometry using 5 MeV C60+ ions
著者 (7件):
NAKAJIMA K.
(Dep. of Micro Engineering, Kyoto Univ., Kyoto 615-8540, JPN)
NAGANO K.
(Dep. of Micro Engineering, Kyoto Univ., Kyoto 615-8540, JPN)
SUZUKI M.
(Dep. of Micro Engineering, Kyoto Univ., Kyoto 615-8540, JPN)
NARUMI K.
(Takasaki Advanced Radiation Res. Inst., Japan Atomic Energy Agency, 1233 Watanuki-machi, Takasaki, Gumma 370-1292, JPN)
SAITOH Y.
(Takasaki Advanced Radiation Res. Inst., Japan Atomic Energy Agency, 1233 Watanuki-machi, Takasaki, Gumma 370-1292, JPN)
HIRATA K.
(National Metrology Inst. of Japan, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-1-1 Higashi, Tsukuba ...)
KIMURA K.
(Dep. of Micro Engineering, Kyoto Univ., Kyoto 615-8540, JPN)

資料名:
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

巻: 104  号: 11  ページ: 114103-114103-4  発行年: 2014年03月17日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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