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著者 (7件)：
資料名：
巻： 231 ページ： 59-64 発行年： 2015年07月15日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201502206864689822
整理番号：15A0900489
LPP EUV光源のための直径90mmの自立サブ波長格子赤外線カットフィルタ
Free-standing subwavelength grid infrared cut filter of 90mm diameter for LPP EUV light source
SUZUKI Yukio
(Micro System Integration Center, Tohoku Univ., 519-1176, Aza Aoba, Aramaki Aoba-ku, Sendai 980-0845, JPN)
,
SUZUKI Yukio
(Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-01, Aza Aoba, Aramaki Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN)
,
TOTSU Kentaro
(Micro System Integration Center, Tohoku Univ., 519-1176, Aza Aoba, Aramaki Aoba-ku, Sendai 980-0845, JPN)
,
MORIYAMA Masaaki
(Micro System Integration Center, Tohoku Univ., 519-1176, Aza Aoba, Aramaki Aoba-ku, Sendai 980-0845, JPN)
,
MORIYAMA Masaaki
(Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-01, Aza Aoba, Aramaki Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN)
,
ESASHI Masayoshi
(Micro System Integration Center, Tohoku Univ., 519-1176, Aza Aoba, Aramaki Aoba-ku, Sendai 980-0845, JPN)
,
TANAKA Shuji
(Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-01, Aza Aoba, Aramaki Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN)
資料名：
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 231 ページ： 59-64 発行年： 2015年07月15日
JST資料番号： B0345C ISSN： 0924-4247 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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