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資料名：
巻： 54 号： 6S1 ページ： 06FP05.1-06FP05.5 発行年： 2015年06月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201502216795941994
整理番号：15A0841920
摺動駆動電極によるLameモード正八角マイクロエレクトロメカニカルシステム共振器の2ポート構成の評価
Evaluation on two-port configuration of a Lame-mode octagonal microelectromechanical systems resonator driven by sliding driving electrodes
TSUJISHITA Katsuhiro
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
TANIGAWA Hiroshi
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
FURUTSUKA Takashi
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
,
SUZUKI Kenichiro
(Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 54 号： 6S1 ページ： 06FP05.1-06FP05.5 発行年： 2015年06月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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