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著者 (7件)：
資料名：
巻： 7th ページ： ROMBUNNO.6PN-72 発行年： 2014年
JST資料番号： L8395B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201502218130305534
整理番号：15A0828930
Si(001)およびSi(111)表面上で成長させた超薄酸化物の熱分解に関する酸化誘起歪の効果
Effect of Oxidation-Induced Strain on Thermal Decomposition of Ultrathin Oxide Grown on Si(111) and Si(111) Surfaces
TANG Jiayi
(Tohoku Univ., JPN)
,
OGAWA Shuichi
(Tohoku Univ., JPN)
,
YOSHIGOE Akitaka
(JAEA, JPN)
,
NISHIMOTO Kiwamu
(Tohoku Univ., JPN)
,
ISHIDZUKA Shinji
(Akita Nat. Col. Technol., JPN)
,
TERAOKA Yuden
(JAEA, JPN)
,
TAKAKUWA Yuji
(Tohoku Univ., JPN)
資料名：
Program/Abstracts of ISSS (CD-ROM)
(Program/Abstracts of ISSS (CD-ROM))
巻： 7th ページ： ROMBUNNO.6PN-72 発行年： 2014年
JST資料番号： L8395B 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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