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文献
J-GLOBAL ID:201502218295480810   整理番号:15A1356692

垂直共振器面発光レーザダイオードを用いる走査速度制御の下でのナノメートル精度の周波数走査型干渉測定

Frequency scanning interferometry with nanometer precision using a vertical-cavity surface-emitting laser diode under scanning speed control
著者 (1件):
KAKUMA Seiichi
(Hokkaido Univ., Div. of Applied Physics, Graduate School of Engineering, N13W8, Kita-ku, 060-8628, Sapporo, JPN)

資料名:
Optical Review (Web)  (Optical Review (Web))

巻: 22  号:ページ: 869-874  発行年: 2015年12月 
JST資料番号: U0709A  ISSN: 1349-9432  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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