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著者 (2件)：
資料名：
巻： 27 号： 6 ページ： 711-712 発行年： 2014年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201502220100718692
整理番号：15A0208886
SU-8レジスト薄膜の誘電率の周波数分散
Frequency Dispersion of Permittivity of SU-8 Resist Thin Film
KAWAI Akira
(Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
,
OHTANI Shogo
(Nagaoka Univ. Technol., Niigata, JPN)
資料名：
Journal of Photopolymer Science and Technology
(Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 27 号： 6 ページ： 711-712 発行年： 2014年
JST資料番号： L0202A ISSN： 0914-9244 CODEN： JSTEEW 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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