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J-GLOBAL ID：201502221326299649 整理番号：15A1314792

触媒反応支援化学蒸着により成長したZnO膜の特性に対するN₂Oガス添加の効果

Effects of N₂O gas addition on the properties of ZnO films grown by catalytic reaction-assisted chemical vapor deposition

著者 (6件)：

YASUI Kanji

(Dep. of Electrical, Electronic, and Information Engineering, Nagaoka Univ. of Technol., 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka ...)

,

MORIOKA Makoto

(Dep. of Electrical, Electronic, and Information Engineering, Nagaoka Univ. of Technol., 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka ...)

,

KANAUCHI Shingo

(Dep. of Electrical, Electronic, and Information Engineering, Nagaoka Univ. of Technol., 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka ...)

,

OHASHI Yuki

(Dep. of Electrical, Electronic, and Information Engineering, Nagaoka Univ. of Technol., 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka ...)

,

KATO Takahiro

(Dep. of Electrical, Electronic, and Information Engineering, Nagaoka Univ. of Technol., 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka ...)

,

TAMAYAMA Yasuhiro

(Dep. of Electrical, Electronic, and Information Engineering, Nagaoka Univ. of Technol., 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka ...)

資料名：

Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)

巻： 33 号： 6 ページ： 061519-061519-5 発行年： 2015年11月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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