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著者 (6件)：
資料名：
巻： 21 号： 3 ページ： 675-681 発行年： 2015年03月
JST資料番号： W2056A ISSN： 0946-7076 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201502286183301870
整理番号：15A0440560
スパッタされた薄膜のNdFeB磁石と一体化したポリジメチルシロキサンダイアフラム
A polydimethylsiloxane diaphragm integrated with a sputtered thin film NdFeB magnet
ZHI Chao
(Tokyo Inst. of Technol., Interdisciplinary Graduate School of Sci. and Engineering, Yokohama, JPN)
,
SHINSHI Tadahiko
(Tokyo Inst. of Technol., Precision and Intelligence Lab., Mail Box: R2-38, 4259 Nagatsuta-cho, Midori-ku, 226-8503 ...)
,
UEHARA Minoru
(Hitachi Metals, Ltd., Magnetic Materials Res. Lab., Osaka, JPN)
,
MATSUTANI Akihiro
(Tokyo Inst. of Technol., Technical Dep., Semiconductor and MEMS Processing Center, Yokohama, JPN)
,
YUITO Isamu
(Waseda Univ., Inst. for Nanoscience and Nanotechnology, Tokyo, JPN)
,
TAKEUCHI Teruaki
(Waseda Univ., Inst. for Nanoscience and Nanotechnology, Tokyo, JPN)
資料名：
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻： 21 号： 3 ページ： 675-681 発行年： 2015年03月
JST資料番号： W2056A ISSN： 0946-7076 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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