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資料名：
巻： 63rd ページ： ROMBUNNO.20P-H101-1 発行年： 2016年03月03日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：201602215369855534
整理番号：16A0281680
Si(001)上の3C-SiCエピ膜形成および積層欠陥生成過程の断面TEM解析
山崎順
(阪大 電顕セ)
,
石田篤志
(名古屋大 工)
,
秋山賢輔
(神奈川県産技セ)
,
平林康男
(神奈川県産技セ)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 63rd ページ： ROMBUNNO.20P-H101-1 発行年： 2016年03月03日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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