文献
J-GLOBAL ID:201602229321906298
整理番号:16A0842063
RFマグネトロンスパッタリングで堆積したポリカーボネートと石英基板上のVドープZnO薄膜の比較研究
Comparison study of V-doped ZnO thin films on polycarbonate and quartz substrates deposited by RF magnetron sputtering
著者 (4件):
Suzuki Tomoya
(Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, Miyagi, Japan)
,
Chiba Hiroshi
(Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, Miyagi, Japan)
,
Kawashima Tomoyuki
(Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, Miyagi, Japan)
,
Washio Katsuyoshi
(Graduate School of Engineering, Tohoku University, Sendai 980-8579, Miyagi, Japan)
資料名:
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻:
605
ページ:
53-56
発行年:
2016年04月30日
JST資料番号:
B0899A
ISSN:
0040-6090
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)