文献
J-GLOBAL ID:201602234444283179
整理番号:16A0782524
N2とCH3CNのガス混合物のマイクロ波放電によって形成した水素化非晶質窒化炭素膜のN原子へのCN(X2Σ+)ラジカルの寄与
Contribution of CN(X2Σ+) radicals to N atoms of hydrogenated amorphous carbon nitride films formed from the microwave discharge of the gas mixture of N2 and CH3CN
著者 (4件):
Ito Haruhiko
(Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka, Niigata 940-2188, Japan)
,
Mogi Nobuyoshi
(Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka, Niigata 940-2188, Japan)
,
Okada Kohtaro
(Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka, Niigata 940-2188, Japan)
,
Tsudome Hiroki
(Nagaoka University of Technology, 1603-1 Kamitomioka, Nagaoka, Niigata 940-2188, Japan)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
63
ページ:
125-131
発行年:
2016年03月
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)