文献
J-GLOBAL ID:201602255401139348
整理番号:16A0636231
非線形性補償を持ったエピタキシャルカプセル化4質量ジャイロスコープ【Powered by NICT】
Epitaxially-encapsulated quad mass gyroscope with nonlinearity compensation
著者 (12件):
Taheri-Tehrani Parsa
(Univ. of California, Davis, Davis, CA, USA)
,
Kline Mitchell
(Univ. of California, Berkeley, Berkeley, CA, USA)
,
Izyumin Igor
(Univ. of California, Berkeley, Berkeley, CA, USA)
,
Eminoglu Burak
(Univ. of California, Berkeley, Berkeley, CA, USA)
,
Yu-Ching Yeh
(Univ. of California, Berkeley, Berkeley, CA, USA)
,
Yushi Yang
(Stanford Univ., Stanford, CA, USA)
,
Yunhan Chen
(Stanford Univ., Stanford, CA, USA)
,
Flader Ian
(Stanford Univ., Stanford, CA, USA)
,
Ng Eldwin J.
(Stanford Univ., Stanford, CA, USA)
,
Kenny Thomas W.
(Stanford Univ., Stanford, CA, USA)
,
Boser Bernhard E.
(Univ. of California, Berkeley, Berkeley, CA, USA)
,
Horsley David A.
(Univ. of California, Davis, Davis, CA, USA)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2016
号:
MEMS
ページ:
966-969
発行年:
2016年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)