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著者 (6件)：
資料名：
巻： 70 ページ： 159-166 発行年： 2016年11月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201602260477932734
整理番号：16A1340889
単結晶ダイヤモンド表面の集束イオンビーム誘発損傷層の除去と特性解析及び多種多様な深さパターン形成への応用
Removal and characterization of focused-ion-beam-induced damaged layer on single crystal diamond surface and application to multiple depth patterning
Kawasegi Noritaka
(Central Research Institute, Toyama Industrial Technology Center, 150 Futagami-machi, Takaoka-shi, Toyama 933-0981, Japan)
,
Kuroda Seiya
(Faculty of Engineering, University of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, Japan)
,
Morita Noboru
(Graduate School of Engineering, Chiba University, 1-33 Yayoi-cho, Inage-ku, Chiba-shi, Chiba 263-8522, Japan)
,
Nishimura Kazuhito
(Faculty of Engineering, Kogakuin University, 2665-1 Nakano-machi, Hachioji-shi, Tokyo 192-0015, Japan)
,
Yamaguchi Makoto
(Graduate School of Engineering Science, Akita University, 1-1 Tegatagakuen-machi, Akita-shi, Akita 010-8502, Japan)
,
Takano Noboru
(Graduate School of Science and Engineering for Research, University of Toyama, 3190 Gofuku, Toyama 930-8555, Japan)
資料名：
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻： 70 ページ： 159-166 発行年： 2016年11月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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