文献
J-GLOBAL ID:201602276309557674
整理番号:16A0780740
レーザ直接描画3Dナノリソグラフィにおけるフェムト秒パルス偏光誘起効果
Femtosecond pulsed light polarization induced effects in direct laser writing 3D nanolithography
著者 (7件):
MALINAUSKAS Mangirdas
(Vilnius Univ., Vilnius, LTU)
,
REKSTYTE Sima
(Vilnius Univ., Vilnius, LTU)
,
JONAVICIUS Tomas
(Vilnius Univ., Vilnius, LTU)
,
GAILEVICIUS Darius
(Vilnius Univ., Vilnius, LTU)
,
MIZEIKIS Vygantas
(Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
,
GAMALY Eugene G.
(Australian National Univ., ACT, AUS)
,
JUODKAZIS Saulius
(Swinburne Univ. Technol., VIC, AUS)
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
9736
ページ:
973608.1-973608.15
発行年:
2016年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)