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著者 (17件)：
資料名：
巻： 2016 号： IITC/AMC ページ： 40-42 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201602276869225580
整理番号：16A0679353
ナノスケールCoダマシンBEOL相互接続構造の実験的研究【Powered by NICT】
Experimental study of nanoscale Co damascene BEOL interconnect structures
Kelly J.
(IBM Research at Albany Nanotech, NY USA)
,
Chen J. H.-C.
(IBM Research at Albany Nanotech, NY USA)
,
Huang H.
(IBM Research at Albany Nanotech, NY USA)
,
Hu C. K.
(IBM Research at Albany Nanotech, NY USA)
,
Liniger E.
(IBM Research at Albany Nanotech, NY USA)
,
Patlolla R.
(IBM Research at Albany Nanotech, NY USA)
,
Peethala B.
(IBM Research at Albany Nanotech, NY USA)
,
Adusumilli P.
(IBM Research at Albany Nanotech, NY USA)
,
Shobha H.
(IBM Research at Albany Nanotech, NY USA)
,
Nogami T.
(IBM Research at Albany Nanotech, NY USA)
,
Spooner T.
(IBM Research at Albany Nanotech, NY USA)
,
Huang E.
(IBM Research at Albany Nanotech, NY USA)
,
Edelstein D.
(IBM Research at Albany Nanotech, NY USA)
,
Canaperi D.
(IBM Research at Albany Nanotech, NY USA)
,
Kamineni V.
(GLOBALFOUNDRIES, Albany, NY USA)
,
Mont F.
(GLOBALFOUNDRIES, Albany, NY USA)
,
Siddiqui S.
(GLOBALFOUNDRIES, Albany, NY USA)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： IITC/AMC ページ： 40-42 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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