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著者 (9件)：
資料名：
巻： 2016 号： IWJT ページ： 19-24 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201602278171770685
整理番号：16A0654894
7nm Si CMOS技術とそれ以降のためのMISまたはMSソース/ドレイン接触方式評価【Powered by NICT】
MIS or MS? Source/drain contact scheme evaluation for 7nm Si CMOS technology and beyond
Yu Hao
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Schaekers Marc
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Demuynck Steven
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Barla Kathy
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Mocuta Anda
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Horiguchi Naoto
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Collaert Nadine
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
Thean Aaron Voon-Yew
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
,
De Meyer Kristin
(Imec, Kapeldreef 75, B-3001 Leuven, Belgium)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016 号： IWJT ページ： 19-24 発行年： 2016年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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