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著者 (5件)：
資料名：
巻： 46 ページ： 339-348 発行年： 2016年10月
JST資料番号： A0734B ISSN： 0141-6359 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201602280205631373
整理番号：16A0939104
ウエハの重力誘起曲げを除去するための,サポートとウエハの位置決定に基づく3点支持法
Three-point-support method based on position determination of supports and wafers to eliminate gravity-induced deflection of wafers
Liu Haijun
(Key Laboratory for Precision and Non-traditional Machining of Ministry of Education, Dalian University of Technology, Dalian, PR China)
,
Zhu Xianglong
(Key Laboratory for Precision and Non-traditional Machining of Ministry of Education, Dalian University of Technology, Dalian, PR China)
,
Kang Renke
(Key Laboratory for Precision and Non-traditional Machining of Ministry of Education, Dalian University of Technology, Dalian, PR China)
,
Dong Zhigang
(Key Laboratory for Precision and Non-traditional Machining of Ministry of Education, Dalian University of Technology, Dalian, PR China)
,
Chen Xiuyi
(Key Laboratory for Precision and Non-traditional Machining of Ministry of Education, Dalian University of Technology, Dalian, PR China)
資料名：
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻： 46 ページ： 339-348 発行年： 2016年10月
JST資料番号： A0734B ISSN： 0141-6359 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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