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文献
J-GLOBAL ID:201602282251228202   整理番号:16A0941568

高圧水蒸気処理による高誘電体膜SrTa2O6を用いたIGZO薄膜トランジスタの特性改善

著者 (6件):
及川賢人
(奈良先端科学技術大学院大)
藤井茉美
(奈良先端科学技術大学院大)
BERMUNDO Juan Paolo
(奈良先端科学技術大学院大)
内山潔
(鶴岡工高専)
石河泰明
(奈良先端科学技術大学院大)
浦岡行治
(奈良先端科学技術大学院大)

資料名:
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))

巻: 77th  ページ: ROMBUNNO.15p-A22-6  発行年: 2016年09月01日 
JST資料番号: Y0055B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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