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資料名：
巻： 77th ページ： ROMBUNNO.15p-A22-6 発行年： 2016年09月01日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：201602282251228202
整理番号：16A0941568
高圧水蒸気処理による高誘電体膜SrTa2O6を用いたIGZO薄膜トランジスタの特性改善
及川賢人
(奈良先端科学技術大学院大)
,
藤井茉美
(奈良先端科学技術大学院大)
,
BERMUNDO Juan Paolo
(奈良先端科学技術大学院大)
,
内山潔
(鶴岡工高専)
,
石河泰明
(奈良先端科学技術大学院大)
,
浦岡行治
(奈良先端科学技術大学院大)
資料名：
応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 77th ページ： ROMBUNNO.15p-A22-6 発行年： 2016年09月01日
JST資料番号： Y0055B ISSN： 2758-4704 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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