文献
J-GLOBAL ID:201702213078198762
整理番号:17A1021431
プラズマ基イオン注入兼蒸着で蒸着した非晶質炭素膜のトライボロジー特性に及ぼす塩素ドーピングの影響【Powered by NICT】
Effect of chlorine doping on tribological properties of amorphous carbon films deposited by plasma-based ion implantation and deposition
著者 (5件):
Tokuta Yuuki
(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute, Japan)
,
Itoh Takashi
(FUJIMETAL Co. Ltd., Japan)
,
Shiozaki Takahiko
(FUJIMETAL Co. Ltd., Japan)
,
Kawaguchi Masahiro
(Tokyo Metropolitan Industrial Technology Research Institute, Japan)
,
Sasaki Shinya
(Tokyo University of Science, Japan)
資料名:
Tribology International
(Tribology International)
巻:
113
ページ:
377-382
発行年:
2017年
JST資料番号:
E0409B
ISSN:
0301-679X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)