文献
J-GLOBAL ID:201702215875095737
整理番号:17A0368576
狭い感度分布を有するMEMSマイクロホン【Powered by NICT】
MEMS microphones with narrow sensitivity distribution
著者 (6件):
Walser S.
(Munich University of Applied Sciences, Munich, Germany)
,
Siegel C.
(EPCOS AG a TDK group company, Munich, Germany)
,
Winter M.
(EPCOS AG a TDK group company, Munich, Germany)
,
Feiertag G.
(Munich University of Applied Sciences, Munich, Germany)
,
Loibl M.
(Munich University of Applied Sciences, Munich, Germany)
,
Leidl A.
(EPCOS AG a TDK group company, Munich, Germany)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
247
ページ:
663-670
発行年:
2016年
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)