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著者 (3件)：
資料名：
巻： 2017 号： MEMS ページ： 278-281 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201702221253061906
整理番号：17A0381443
MM~2地域上の40nm広パターンの1:1移動のsam層を通したElectrostamping【Powered by NICT】
Electrostamping through sam layer for 1:1 transfer of 40-NM-wide patterns over MM2 area
Li Yongfang
(Corporate Research & Development Center, Toshiba Corporation, Kawasaki, Japan)
,
Toshiyoshi Hiroshi
(Research Center for Advanced Science and Technology, The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
,
Fujita Hiroyuki
(Institute of Industrial Science, The University of Tokyo, Tokyo, Japan)
資料名：
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻： 2017 号： MEMS ページ： 278-281 発行年： 2017年
JST資料番号： W2441A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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