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文献
J-GLOBAL ID:201702221859212810   整理番号:17A1036941

VUV/O_3照射の影響を受けた低温度SAMで修飾したPOM直接ボンディングに関する研究【Powered by NICT】

A study on low temperature SAM modified POM direct bonding affected by VUV/O3 irradiation
著者 (5件):
Fu Weixin
(Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Tokyo, Japan)
Ma Bo
(Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Tokyo, Japan)
Kuwae Hiroyuki
(Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Tokyo, Japan)
Shoji Shuichi
(Faculty of Science and Engineering, Waseda University, Tokyo, Japan)
Mizuno Jun
(Research Organization for Nano and Life Innovation, Waseda University, Tokyo, Japan)

資料名:
IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)

巻: 2017  号: LTB-3D  ページ: 69  発行年: 2017年 
JST資料番号: W2441A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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