文献
J-GLOBAL ID:201702222002729972
整理番号:17A0381553
乾式移送法による物理的および生物学的センシングのためのエラストマーMEMS Fabry-Perot干渉計【Powered by NICT】
An elastomer-based MEMS fabry-perot interferometer for physical and biological sensing by dry transfer technique
著者 (5件):
Takahashi Kazuhiro
(Toyohashi Univ. of Tech., Toyohashi, Aichi, Japan)
,
Fujie Toshinori
(JST PRESTO, Tokyo, Japan)
,
Sato Nobutaka
(Waseda Univ., Tokyo, Japan)
,
Takeoka Shinji
(Waseda Univ., Tokyo, Japan)
,
Sawada Kazuaki
(Toyohashi Univ. of Tech., Toyohashi, Aichi, Japan)
資料名:
IEEE Conference Proceedings
(IEEE Conference Proceedings)
巻:
2017
号:
MEMS
ページ:
704-707
発行年:
2017年
JST資料番号:
W2441A
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)