文献
J-GLOBAL ID:201702222080456941
整理番号:17A1456401
GaN薄膜の成長に及ぼすサファイア基板の裏面粗さの影響【Powered by NICT】
Effect of back-surface roughness of sapphire substrate on growth of GaN thin films
著者 (3件):
Aida Hideo
(Namiki Precision Jewel Co., Ltd, 3-8-22 Shinden, Adachi-ku, Tokyo 123-8511, Japan)
,
Kim Seong-woo
(Namiki Precision Jewel Co., Ltd, 3-8-22 Shinden, Adachi-ku, Tokyo 123-8511, Japan)
,
Suzuki Toshimasa
(Nippon Institute of Technology, 4-1 Gakuendai, Saitama 345-8501, Japan)
資料名:
Precision Engineering
(Precision Engineering)
巻:
50
ページ:
142-147
発行年:
2017年
JST資料番号:
A0734B
ISSN:
0141-6359
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)