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著者 (6件)：
資料名：
巻： 9867 ページ： 986712.1-986712.8 発行年： 2016年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201702227248481350
整理番号：17A0083508
位相検索と確定的アプローチの組み合わせによるマスク欠陥の精密な特性付け
Accurate characterization of mask defects by combination of phase retrieval and deterministic approach
PARK Min-Chul
(Korea Univ. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
PARK Min-Chul
(Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
LEPORTIER Thibault
(Korea Univ. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
LEPORTIER Thibault
(Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
,
KIM Wooshik
(Sejong Univ., Seoul, KOR)
,
SONG Jindong
(Korea Inst. Sci. and Technol., Seoul, KOR)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 9867 ページ： 986712.1-986712.8 発行年： 2016年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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